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無氧銅墊圈為CF法蘭常用密封材料,經(jīng)過檢查與充分清潔后單獨(dú)包裝,以確保其超高真空性能。
此墊片安裝于法蘭之間,如圖一所示:
尺寸參數(shù)如下:
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